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半导体SiC碳化硅晶圆衬底平磨减薄减薄研磨用绿碳化硅

第三代半导体 SiC 晶圆专用高纯绿碳化硅微粉,粒度集中,可以避免减少SiC 晶圆划痕、崩边、亚表面损伤,绿碳化硅微粉是经过酸洗和磁选的


产品内容

第三代半导体 SiC 晶圆专用高纯绿碳化硅微粉,粒度集中,可以避免减少 SiC 晶圆划痕、崩边、亚表面损伤,绿碳化硅微粉是经过酸洗和磁选的 避免了金属离子污染,保障功率半导体器件电学性能稳定。

绿碳化硅主要化学成分
化学成分 含量范围
SiC 98.5-99.5%
C.F 0.1-0.2%
Fe₂O₃ 0.05-0.1%
   
绿碳化硅主要物理特性
物理特性 指标值
颜色 绿色
粒形 有棱角,不规则
真密度 3.2 g/cm³
莫氏硬度 9.3
努普硬度 2600 Kg/mm²
显微硬度 2940-3300 Kg/mm²
熔点 2730℃
导热系数 (6.28-9.63) W•m⁻¹•K⁻¹

欧标

F230 F240 F280 F320 F360 F400 F500 F600 F800 F1000 F1200 F1500 F2000

日标

#240 #280 #320 #360 #400# #500 #600 #700 #800 #1000 #1200 #1500 #2000 #2500 #3000 #4000 #6000 #8000 #10000

W标

W63 W50 W40 W28 W20 W14 W10 W7 W5 W3.5 W2.5 W1.5 W1

 

欧标粒度分布

粒度

D3(um)

D50(um)

D94(um)

F230

82

53.0±3.0

34

F240

70

44.5±2.0

28

F280

59

36.5±1.5

22

F320

49

29.2±1.5

16.5

F360

40

22.8±1.5

12

F400

32

17.3±1.0

8

F500

25

12.8±1.0

5

F600

19

9.3±1.0

3

F800

14

6.5±1.0

2

F1000

10

4.5±0.8

1

F1200

7

3.0±0.5

1

F1500

5

2.0±0.4

0.8

F2000

3.5

1.2±0.3

0.5

 

日标粒度分布

粒度

DO(最大粒)

D3(粗粒)

D50(基本粒)

D94(細粒)

240#

127以下

103以下

57±3.0

40以上

280#

112以下

87以下

48±3.0

33以上

320#

98以下

74以下

40±2.5  

27以上

360#

86以下

66以下

35±2.0

23以上

400#

75以下

58以下

30±2.0

20以上

500#

63以下

50以下

25±2.0

16以上

600#

53以下

41以下

20±1.5

13以上

700#

45以下

37以下

17±1.5

11以上

800#

38以下

31以下

14±1.0

9以上

1000#

32以下

27以下

11.5±1.0

7以上

1200#

27以下

23以下

9.5±0.8

5.5以上

1500#

23以下

20以下

8±0.6

4.5以上

2000#

19以下

17以下

6.7±0.6
  

4.0以上

2500#

16以下

14以下

5.5±0.5

3.0以上

3000#

13以下

11以下

4.0±0.5

2.0以上

4000#

11以下

8以下

3.0±0.4

1.8以上

6000#

8以下

5以下

2.0±0.4

0.8以上

8000#

6以下

3.5以下

1.2±0.3

0.6以上

W标粒度分布

粒度号

基本粒尺寸(微米)

W63

63-50

W50

50-40

W40

40-28

W28

28-20

W20

20-14

W14

14-10

W10

10-7

W7

7-5

W5

5-3.5

W3.5

3.5-2.5

W2.5

2.5-1.5

W1.5

1.5-1

W1

1-0

 

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